真空蒸着装置の
設計・製造・改造・移設

スパッタリングとは、真空中に不活性ガスを導入しイオン化させた高エネルギーの粒子をターゲットに衝突させて薄膜を形成する技術です。当社では主にマグネトロン・スパッタリング法を採用しております。この方法では、ターゲットの裏側に配置された磁石から生じる磁界により、高密度のプラズマ領域が形成され、スパッタ効率や成膜速度が向上する効果があります。

また、放電可能なガスの圧力を低く調整できるため、不要なガスが膜中に混入する量を減らすことも可能です。さらに、マグネットや電極の設計により利用効率を高めることもできます。また、既存の真空装置をスパッタリング装置に改造することも可能です。

プラズマ重合とは、真空中にモノマーガスを導入し、高周波によってプラズマ化させることで、ワーク（基板等）にポリマー膜を形成させる技術です。導入ガスの種類や成膜条件を変えることにより、疎水性や親水性のある膜の形成が可能です。

蒸着膜の保護膜をプラズマ重合で形成することにより、トップコートの塗装工程を省くことができます。これにより、塗料を乾燥させる時間や、塗装で生じる不具合もなくなるため、生産性を大幅に向上させることが可能となります。既存の真空装置をプラズマ重合装置に改造することも可能です。

抵抗加熱式蒸着とは、薄膜材料を加熱蒸発させ、蒸発温度より低い温度のワーク（基板等）に凝縮・固化させることによって薄膜を形成させる技術です。発熱体としては、一般的にタングステン、タンタル、モリブデンなどの高融点金属のフィラメントや蒸着ボートが使用されています。

当社では、不連続蒸着に対応したオリジナルの抵抗加熱式蒸着装置を製作し、高い生産性でご好評いただいております。また、既存の蒸着装置の高効率化のためのリニューアルや、フィラメントや蒸着材料の販売も行っております。これらの取り組みにより、お客様の蒸着プロセスの効率化に貢献することを目指しております。

当社では、工場の移転やレイアウト変更、および設備の入替に関連して、真空装置の移設・撤去工事を実施しております。移設後には、ヘリウムリークディテクタを使用して真空漏れ試験や動作確認も行うことができます。

また、真空ポンプの機種変更などに伴う配管のリニューアルも実施しております。解体撤去の場合には、契約産廃業者と協力し、廃棄処理まで責任を持って行うことも可能です。

当社では、真空配管および真空チャンバーの設計・製作を行っております。配管のレイアウト変更やチャンバーの更新など、ご希望がございましたら、図面やポンチ図をお送りいただければ、お見積もりさせていただきます。

また、各種真空フランジやガスケットも取り扱っておりますので、お気軽にご相談ください。