service真空ポンプ・真空機器の
修理・メンテナンス

真空ポンプは様々な生産設備で利用されますが、故障を予防し性能を維持するには定期的なメンテナンスが重要です。真空装置は複数のメーカーの真空ポンプや真空機器で構成されていることが少なくありませんが、一般的にメーカーのサポート範囲は自社製品に限定されます。

当社では国内外を問わず数多くのメーカーの真空ポンプに対応しています。また自社工場内での修理だけでなく、出張修理も提供しています。さらに、大きさや種類の異なるさまざまな真空ポンプの代替品を常時300台以上在庫しており、突然のトラブルによる生産ラインの停止時にも迅速な復旧を実現できます。

真空装置の性能を最適化し、安定した運転を維持するためには、真空装置全体の定期的なメンテナンスが重要です。当社では、真空ポンプだけでなく、真空チャンバー、真空バルブ、真空計、真空配管などの修理やメンテナンス、さらにはヘリウムリークディテクタによる真空漏れ試験も実施しています。

また、メンテナンス期間を短縮し、コストを削減するために独自に開発したオリジナルの治工具も利用しています。具体的な例として、大型のバルブを装置から取り外さずに洗浄や部品交換を行うことができる治工具があります。

真空成膜装置が高いパフォーマンスを発揮するためには、チャンバー内に侵入する水分の対策も重要です。例えば梅雨時には大気の影響を受けて装置の生産能力が低下することも少なくありません。

水分を除去するための対策として、冷却装置の設置は効果的です。マイスナーコイルをチャンバーやメインバルブ付近に取り付け、超低温の冷凍機で-100℃～-140℃に冷却することにより、排気速度と真空度が向上し、安定した生産が可能になります。

当社は真空排気用超低温冷却装置「NeoCold」の特約店であり、販売から設置、操作指導、保守まで全てをサポートしています。また、装置に最適な形状のマイスナーコイルの設計製作も可能です。

真空機器に限らず、水冷式の冷却水配管は使用する過程でカルキやバクテリアによる汚染が生じ、水の流れが悪くなります。冷却性能を維持するためには、定期的に配管内の汚れを取り除く必要があります。

当社では特殊なバイブレーション（脈動）を発生させるケミカル用の循環ポンプと薬剤を組み合わせて冷却水配管内をクリーニングしており、特に油拡散真空ポンプや真空チャンバーなどの冷却性能の回復において実績があります。