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真空装置の製作・改造・移設

渡辺真空では、真空ポンプの修理・メンテナンスだけではなく、真空装置の設計・製作・改造・移設も行っております。
これまで手掛けた装置や移設作業の一部をご紹介致します。

スパッタリング装置

真空にしたチャンバー内で高電圧をかけて、イオン化させた気体を金属のターゲットに衝突させることにより、製膜させる装置です。

プラズマ重合装置

真空にしたチャンバー内で高周波をかけ、プラズマを用いてモノマーガスを重合して製膜させる装置です。

抵抗加熱式蒸着装置

真空にしたチャンバー内で電気を流して、金属を加熱させ蒸発または昇華させることにより、製膜させる装置です。

真空装置の移設

真空装置の移設を行い、設置後には真空漏れ試験・動作確認も行えます。

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